Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
|
| Статус: |
принят
|
| Английское название: |
State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration |
| Область приложения: |
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер |
| Дата введения: |
01.06.2009 |
| Дата публикации: |
17.11.2008 |
| Последнее измененение: |
16.01.2009 |
